Aurinkokennojen spesifiseen tuotantoon kuuluu 10 vaihetta, kuten viipalointi, puhdistus, teksturoidun pinnan valmistelu, fosforin diffuusio, taka-PN plus liitosten poistaminen, ylä- ja alaelektrodien valmistus, heijastuksenestokalvon valmistus, sintraus ja testiluokitus.
1. Viipalointi: käytä monilankaleikkausta piitankojen leikkaamiseen neliömäisiksi piikiekoiksi.
2. Puhdistus: Käytä tavanomaisia piikiekkojen puhdistusmenetelmiä puhdistamiseen ja käytä sitten happo- (tai alkali)liuosta poistamaan 30-50um piikiekon pinnalta leikatusta vauriokerroksesta.
3. Teksturoidun pinnan valmistelu: piikiekkojen anisotrooppinen etsaus emäksisellä liuoksella teksturoitujen pintojen valmistamiseksi piikiekkojen pinnalle.
4. Fosforin diffuusio: käytä pinnoitelähdettä (tai nestemäistä lähdettä tai kiinteää fosforinitridihiutalelähdettä) diffuusioon PN:n ja liitoksen muodostamiseksi, liitoksen syvyys on yleensä 0.3-0.5um.
5. Kehäsyövytys: Piikiekon kehäpinnalle diffuusion aikana muodostuva diffuusiokerros oikosulkee akun ylemmän ja alemman elektrodin, ja perifeerinen diffuusiokerros poistetaan peittämällä märkäetsaus tai plasmakuivaetsaus.
6. Irrota takaosan PN plus -liitos. Takaosan PN plus -liitos poistetaan yleensä märkäsyövytyksellä tai hiomalla.
7. Tee ylä- ja alaelektrodit: käytä tyhjöhaihdutusta, kemiallista nikkelipinnoitusta tai alumiinitahnatulostusta ja sintrausta. Tee ensin alempi elektrodi ja sitten ylempi elektrodi. Alumiinipastapainatus on laajalti käytetty prosessimenetelmä.
8. Heijastuksenestokalvon valmistus: Heijastumisenestokalvon pienentämiseksi piikiekon pinnalla tulee peittää kerros heijastuksenestokalvoa. Heijastuksenestopinnoitteiden valmistusmateriaaleja ovat MgF2, SiO2, Al2O3, SiO, Si3N4, TiO2, Ta2O5 jne. Prosessimenetelmä voi olla tyhjiöpinnoitusmenetelmä, ionipinnoitusmenetelmä, sputterointimenetelmä, tulostusmenetelmä, PECVD-menetelmä tai ruiskutusmenetelmä jne. .
9. Sintraus: Akkusiru sintrataan nikkeli- tai kuparipohjalevylle.
10. Testin luokitus: Määritellyn parametrimääritelmän mukaan, testiluokitus.
